动态真空管道选择外部泵-动态系统作为整个管道系统的一部分,**有效地传输液氮,也用于MBE工艺以及半导体组装和测试设施中集成芯片(IC)的冷测试。
动态真空管道产品特点:
组装简单易操作
管道有一定的可变形性,现场使用比较灵活
高真空绝热结构,损耗率低
内外均由不锈钢材料,强度可靠,外观美观
动态真空管道技术参数:
管路通径 |
DN10 |
DN20 |
DN25 |
DN40 |
DN50 |
DN60 |
DN80 |
DN100 |
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主要材质 |
0Cr18Ni9 |
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压力等级 |
≯35MPa |
≯23MPa |
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内管补偿方式 |
自然补偿器 |
波纹补偿器 |
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低介质温度 |
-253°C |
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焊缝漏率 |
≯1×10-9Pa·m3/s |
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总体漏放气速率 |
≯1×10-8Pa·m3/s |
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封口真空度 |
≯1.33×10-3Pa |
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真空寿命 |
大于4年 |
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机械寿命 |
30年 |
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连接方式 |
螺纹连接/小真空连接 |
法兰连接/小真空连接 |
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传热值 |
直管段 |
≯0.45W/m |
≯0.8W/m |
≯1.0W/m |
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焊接接头 |
≯8W/m |
≯11W/m |
≯14W/m |
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法兰连接 |
≯28W/m |
≯40W/m |
≯40W/m |
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